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do diamante profissional do CVD do equipamento do crescimento do diamante do equipamento da máquina MPCVD do diamante fabricante crescente laboratório-crescido da máquina

Informação Básica
Lugar de origem: China
Marca: BAXIT
Certificação: CE
Número do modelo: BXT-MPCVD
Quantidade de ordem mínima: 1 (Mínimo Ordem)
Preço: USD149080- 150000Set|1 Set/Sets(Min. Order)
Tempo de entrega: DIAS 5-8WORK
Termos de pagamento: L/C, T/T, D/A, D/P
Habilidade da fonte: 5
Informação detalhada
Frequência de funcionamento: 2450MHz Potência de saída: 0,1 ~ 6 quilowatts continuamente ajustáveis
Estabilidade do poder: melhor de ±1% (@ estado avaliado) Relação do medidor de ondas da saída: BJ-26/22 com a flange FD-26/22 padrão
Entrada de poder: 380VAC/50Hz, 3 fio da fase 5, 11kW Volume de água refrigerando: 18L/min
Coeficiente da onda de posição do sistema: ≤ 1,5 de VSWR Escapamento da micro-ondas: encontre os padrões nacionais
Tamanho e modo de trabalho: Modo de Φ200 x 300 (h) TM

Descrição de produto

do diamante profissional do CVD do equipamento do crescimento do diamante do equipamento da máquina MPCVD do diamante fabricante crescente laboratório-crescido da máquina 0do diamante profissional do CVD do equipamento do crescimento do diamante do equipamento da máquina MPCVD do diamante fabricante crescente laboratório-crescido da máquina 1

Gerador e sistema da micro-ondas Frequência de funcionamento 2450MHz
  Potência de saída 0,1 ~ 6 quilowatts continuamente ajustáveis
  Estabilidade do poder melhor de ±1% (@ estado avaliado)
  Relação do medidor de ondas da saída BJ-26/22 com a flange FD-26/22 padrão
  Entrada de poder 380VAC/50Hz, 3 fio da fase 5, 11kW
  Volume de água refrigerando 18L/min
  Coeficiente da onda de posição do sistema ≤ 1,5 de VSWR
  Escapamento da micro-ondas encontre os padrões nacionais
Câmara da descarga de vácuo da micro-ondas Tamanho e modo de trabalho Modo de Φ200 x 300 (h) TM
  Área eficaz do depósito Φ50mm
  Escala do controle de pressão 0.5KPa~30KPa
  Precisão de controle da pressão ±15Pa
Aquisição do vácuo Único crescimento de cristal taxa de crescimento de 10-15μm/H, único ≥ 1.6mm da espessura do crescimento
  Única qualidade de cristal quase nenhuns defeitos sob o olho nu
Sistema do vácuo Modo da ruptura suficiência com N2
  Grau final do vácuo melhor than8×10-4Pa
  Taxa do escapamento do vácuo ≤10-9pA.m3/s
  Elevação da pressão 24 horas de elevação média da pressão são menos than1Pa/H
Sistema de fluxo maciço do gás Precisão 2%-100%F.S., inletpressureis0.2-0.3Mpa
  Tipo e escala de gás H2 (1SLM), CH4 (100SCCM), O2 (10SCCM), N2 (20SCCM)
Sistema da fase da amostra Diâmetro da fase da amostra Φ60mm, água-de refrigeração;
  Escala de ajuste da amostra
tabela
0~15mm
  Escala de ajuste da placa da cavidade 0~60mm
Medida da temperatura da carcaça medida infravermelha da temperatura
escala
600~1200℃ (medida infravermelha da temperatura)
  Precisão de controle da temperatura controle de temperatura precision±5℃;
  Escala do controle da área da temperatura constante diferença da temperatura de cada ponto do molibdênio platform≤30℃
Relação de dispositivo Água da entrada e da tomada " Fio G1 exterior
  Conexão do gás 1/4" fio exterior do VCR
  Relação da descarga da exaustão 3/4" fio exterior
  Linha elétrica TB4506
Resistência de isolação ≥5MΩ
Confiança o tempo de trabalho contínuo e estável em condições normais não será menos do que 24H
Fonte de alimentação total 380VAC±5%/50Hz, 3phase5wire, 13kW
Água refrigerando total 34L/min, água macia limpa, temperatura da água da entrada é 20℃±5℃; A pressão de água é 0.2~0.4MPa
Dimensões ~1,95 (L) x0.8 (W) x1.90 (H) m

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